1CS71.100.CCS G 863EHS人国国家标准GB/T21287-2021代替GB/T21287一2007S.com 3E电子特BEHS.com 3EHS.comm3EHS.com3EHS.comElectronic sspecialty gas-Nitrogentrifluoride2022-05-01实施2021-10-11发布国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布3EHS.com3EHS.com3E前言SE.comBEH本文件按照部2020(标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。3E本文件代替GBT21287一2007《电子工业用气体三氯化氮》.与GB/T22872007相比，除结构调整和编辑性改动外，主要找术变化如下：更改了三氟化氮应符合的技术要求（见第4章，2007年版的第3章）：更改了抽样、判定和复验的要求（见5.1,2007年版的4.更改了采样的要求（见5.2.20（年版的4.1.6）：增加了尾气处理的要求（见5.3？m.com增加了试验方法的一般规定（见6.1）：3E6.3,2007年版的A34.4):更改了水分含量的测定方法（见6.4,2007年版的.6）：更改了可水解氟化物的测定方法（见6.5,2007年版的5）：更改了标志、包装，运输及心存（见第7章，2007年版的第5章）：更改了安全信息（见7.3,2007年版的附录D)。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。.com本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/T℃203)提出并明口EH本文件起草单境：吴华气体有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、吴华气体有限公司西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州园家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南待种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司联雄投资（上海）有限公司沈阴中复科金压力容器有限公司，新江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。本文件主要起草人：王娟、付梦月、王少波孟样军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、丁高松，裴友宏、韦杰广、史婉君，张建君、王新喜、孙猛、鬲春利，张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、依俊廷、何波，杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科高静、马昌宁、唐霞梅、李光辉、周鹏云黄超。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：2007年首次发布为GB/212872007:本次为第一次修订。3EHS.conS.com 3EHS.conm 3EHS.conS.com 3E