1CS71.100.CCS G 863E3EHS和国国家标准GB/T17874-2021代替GB/T17874一2010BEHS.com 3EHS.com 3E电子特om 3EHS.com 3EHS.comǒm3EHS.com3Especialty gas-Boron trichlorideBEHS.com 3EHS.com2021-10-11发布2022-05-01实施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布3EHS.com3EHS.com3E前S.comBEH本文件按照GB1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。3E本文件代替GBT17874一2010《电子工业用气体三氯化硼》。与GB/T212872007相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：更改了三氯化硼应符合的技术要求（见第4章，2010年版的第3章）：更改了检验规则的要求（见第5章，2010年版的4,1）更改了纯度计算方法（见6.4,2010年版的4.2）：增加了四氯化硅含量的测定方法（见6.2：EHS增加了氯气含量的测定方法（见6.3）：增加了碳酰氯、氯化氢含量的测定方法（见6.）：3E更改了金属元素的测定方法（见6.5,2010年版的47）：删除了颗粒的测定(2010年版的4.8)：更改了标志、包装、运输及贮存（见第7章，2010年版的第5章）：更改了安全信息（见73,200年版的5.2）。3EHS.com请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本文件起草单位：大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、和立气体（上海）有限公司、太和气体（荆州）有限公司广东华特气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公贰江西华特电子化学品3E有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、浙江省化工研究院有限公司、吴华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资（上海）有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。本文件主要起草人：施旖旎、赵插、孙福楠、梁永强、梁成科、阳辉、傅铸红、陈艳珊、丁高松、何经余EH曹素英、宋富财、苏子杰，廖恒易、刘健、史婉君张建君、王新喜、孙猛、史隽涛、周礼誉，鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓方华辛伶、何波、黄小强、黄辉，刘扬海、宫兵、易达文、李阳、高静李威、赵帅德、余民、周鹏云、沈翠平。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：1999年首次发布为GB/T178741999,2010年第次为第二次修订。3EHS.corS.com 3Em 3EHS.conm 3EHS.con