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GB-T 41926-2022氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法

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GB-T 41926-2022氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法
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ICS77.040CCS H 17BEHS.com3EHSGB和国国家标准GB/TXXXXX-XXXX3EBEHS化铝材料中痕量元素(镁、镓)火含量及分布的测定二次离子质谱法Determination of the content and distribution of trace elements(magnes i3EHS.com 3EHS.commassspectrometry3EBEHS.com 3EHS.com3EHS.com 3ES.com 3EHS.comKXXX-XX-X发布XXXX-XX-XX实施)国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布HS3EHS.com3EHS.com3EXXXX前言BEHS33本文件按照GB/2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定草。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。本文件起草单位:北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司。本文件主要起草人:齐俊杰、魏学成,闫丹、卫喆、胡超胜、李志超许磊、王军喜、3E3EHS.com 3E3EHS.com 3EHS.com 3El3EHS.com 3EHS.com 3EHS.com 3ElBEHS.com 3EHS.com 3EHs.com 3Ehs.conBEHS.com 3Ehs.com 3ehs.conBEHS.com 3EHS.con
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