ICS71.100.863EHS3E人和国国家标准GB/T15909一2017代替GB/T15909一20093E.com 3EBEHS.com 3EHS.com 3EHS.comBEHS.com 3EHS.com2017-05-31发布2017-12-01实3E中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会3EHS.com3EHS.com3E前言BEHS本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准代替GB/T15909一2009《电子工业用气体硅烷》。与GB/T159092009相比，除编辑性改外主要技术变化如下：修改了标准名称，删除了标准名称中硅烷的分子式(SH)；修改了范围：增加了适用的制备方法，修改了适用范围（见第1章，2009年版的第1章）：修改了规范性引用文件：删除GB/T8984.3、GB/T11640,增加GB/T11446.1、GB15258GB/T16804、GB/T26571、GB/T28726(见第2章，2009年版的第2章)；修政了技术要求：修改硅烷纯度为99.9999×102（体积分数）（见第3章，2009年版的第3章）：删除了电性能规格（见2009年版的3.3）)EHS修改了硅烷纯度的计算（见4.2,2009年版的4,2）：修改了氢、氧十氩、氯、甲烷、烃、一氧化碳、二氧化碳、乙硅烷含量的测定方法（见4.4,2009年删除了测定氯化物总量测定方法（见2009年版的4,5）：增加了氯硅烷含量的测定方法（见4.4）；修改了水含量测定方法的仪器检测限（见4.5,2009年版的4.8）；增加了金属及其他元素含量的测定方法（见4.6）；S.com修改了标志、包装，贮运及安全（见第5章，2009年版的第5章）。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203/SC1)归口。本标准起草单位：西南化工研究设计院有限公司，浙江赛林硅业有限公司、广东华特气体股份有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、天津长芦华信化工股份有限公司，大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海计量测试研究院、化工气体质检中心、江苏中能硅业●科技发展有限公司，浙江中宁硅业有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司，浙江大学、安徽省稀州市硅谷特种气体有限公司。本标准主要起草人：余京松、杨智敏、傅铸红、杜汉盛、孙福楠、牛艳东、李长富、周朋云、曲庆、方华、陈鹿、常侠、刘晓霞、周延江、高平洲、徐昕。3EHS.com 3EEBEHS.com 3EHS.cor本标准所代替标准的历次版本发布情况为：HS.com 3EHS.con