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GBT 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性

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CCS C 703EHS人1国国家标准25915.15-202/1s01464-15:2017个GB/T.com.com 3E15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性33ECleanrooms and associated controlled environments-Part 15:Assessment of suitability for use of equipment and materials byairborne chemical concentrationCOCO2022-12-30发布3EHS.com3∠HS.con2023-07-01实施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布3EHS.com3EHS3EB/T25915.15-2022/1S014644-15:2017com次.comBEHS前言言3E范围规范性引用文件术语和定义符号检测装置EHS6代表性模式7目视检查检测流程浓度的计算10特定释放速率的计算11评定12记录附录A(资料性)已安装设备的适用性评定示例3EHS附录B(资料性)洁净室或洁净区域已安装板壁材料的适用性评定计算示例附录C(资料性)设计阶段洁净室设备和地面材料适用性评定16.com 3EHS.com 3EHS.con参考文献com 3EHS.com 3EHS.concom 3EHS.com 3EcomBEHS.com 3EHs.con
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