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GBT 43661-2024表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜

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GBT 43661-2024表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜
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1CS71.040.40CCS G 04GB中华人民共和国国家标准GB/T43661-2024/IS013083:2015表面化学分析扫描探针显微术用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准Surface chemical analysis-Scanning probe microscopy-Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electricalscanning probe microscopes (ESPMs)such as SSRM and SCM for2D-dopant imaging and other purposes(IS013083:2015,IDT)2024-03-15发布2024-10-01实施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布
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